已知病因类约占全部间质性肺炎的35%，其中以职业性接触为致病病因者为常见，其中无机类粉尘为病因者最多，由有机类粉尘致病者日益增多，有机类粉尘所致也称过敏性肺泡炎，常因既往曾有过敏史，当再次吸入异体蛋白或多糖而发病，原因未明者ILD占所有病例的2/3，其中以特发性肺纤维化，结节病和胶原血管疾病肺部表现最为常见，组织细胞增多症X，肺-肾综合征和肺血管炎，特发性含铁血黄素沉着症等其次。
吸入无机粉尘：
二氧化硅，石棉，滑石，锑，铍，煤，铝，锡，铁。
吸入有机粉尘：
霉草尘，蔗尘，蘑菇肺，饲鸽者病，棉尘，合成纤维，电木放射线损伤。
微生物感染：
病毒，细菌，真菌，卡氏肺孢子虫病，寄生虫。
药物因素：
细胞毒化疗药物，白消胺，环磷酰胺。
疾病因素：
癌性淋巴管炎、肺水肿等。
吸入气体：
氧，二氧化硫，氯，氧化氮，烟尘，脂类，汞蒸气
间质性肺炎确切的发病机制尚未完全阐明，但不同病因的ILD改变都从肺泡炎开始，在发展和修复过程中导致肺纤维化的倾向有其共同之处，活化的巨噬细胞具 有调整淋巴细胞的功能和分泌炎性介质如补体成分，前列腺素，胶原酶，弹性硬蛋白酶，中性蛋白酶，纤维蛋白溶酶活化剂，β葡萄糖醛酸酶，血管生成因子，成纤 维细胞生长因子和中性粒细胞趋化因子等作用，活化T淋巴细胞能分泌淋巴激活素，如巨噬细胞移行抑制因子，白细胞抑制因子，单核细胞趋化因子和巨噬细胞活化 因子等，B淋巴细胞能分泌IgG，IgA和IgM等，中性粒细胞能分泌胶原酶，弹性蛋白酶，中性蛋白酶(组织蛋白酶G)，酸性蛋白酶(组织蛋白酶D)，β 葡萄糖醛酸酶和活化各种体液的炎性路径等。
在特发性肺纤维化的支气管肺泡灌洗液中，证实有免疫复合体，能刺激巨噬细胞分泌中性粒细胞趋化因子，使中性粒细胞聚集于肺泡结构中，活化的巨噬细胞 和中性粒细胞能分泌胶原酶，支气管肺泡灌洗随访复查8～24个月，胶原酶活性仍持续存在，活化的胶原酶可破坏肺泡结构的间质胶原(在急性肺炎如肺炎球菌肺炎， 中性粒细胞在肺泡结构中存在的时间很短暂，故不会引起间质结缔组织进行性和永久性损害，)将特发性纤维化及结节病支气管肺泡灌洗液中分离出的巨噬细胞，分 别在无RPMI-1640培养基中培养，产生纤维结合蛋白的速度，比正常的巨噬细胞分别快20倍和10倍，纤维结合蛋白对肺脏的成纤维细胞具有趋化作用， 在形成间质纤维化起重要作用，结节病T淋巴细胞能分泌淋巴激化素，引起肉芽肿形成，在Ⅰ期阶段，肺实质的损害不明显，若激发因素被消除，病变可以恢复。